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如何正確選擇不同功能的掃描電鏡？掃描電鏡選型指南

掃描電子顯微鏡廣泛應用于材料科學、生物學、納米技術、半導體制造等領域，為研究人員提供了觀察和分析微觀結構和表面形貌的有效工具。

針對不同領域和樣品需求，應該如何選擇不同功能的掃描電鏡呢？

我們對已有的不同功能的掃描電鏡進行了盤點：

系列 1 場發射掃描電鏡

肖特基場發射掃描電鏡（Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope，Schottky FE-SEM）是一種采用肖特基場發射電子源的高分辨率掃描電子顯微鏡，可以提供更高的電子束亮度和穩定性，用于觀察微觀結構和表面形貌。

第二代場發射掃描電鏡，臺式設計，防震，在臺式機身上獲得接近大型場發射的性能。優秀的低電壓成像能力，可減輕電子束對樣品的損傷和穿透，較大程度還原樣品的真實形貌。延續電鏡能譜一體化設計，升級的快速面掃可以即時顯示所選元素的分布情況，實時能譜分析功能大幅提升了檢測效率。

特點

·  肖特基場發射電子槍

·  分辨率最高的臺式電鏡

·  良好的的低電壓成像

·  電鏡能譜一體化設計

·  操作簡單

·  內置磁屏蔽和減震系統，可放置于任意樓層

SEM-STEM 電子顯微鏡

2023 年推出臺式場發射 SEM-STEM 電子顯微鏡，在較低的加速電壓下，減少了電子束對樣品的損傷，顯著提高了圖像的襯度。在臺式掃描電鏡下即可快速獲得高分辨的 BF 像、DF 像、HAADF 像，且支持用戶自定義成像。Pharos STEM 樣品杯為材料領域的研究提供了高效、全面的表征方式。

系列 2 CeB6 燈絲掃描電鏡

CeB6（鈰六硼化物）燈絲掃描電鏡是一種采用CeB6作為電子發射源的掃描電子顯微鏡。CeB6燈絲具有良好的發射性能和長壽命，可提供穩定的電子束，用于高分辨率的表面成像和樣品分析。

特點

·  高亮度、低色差 CeB6 燈絲，使用時長不低于 1500h

·  無需噴金

·  "全面屏"操作界面

· 不受震動、磁場等環境因素干擾

系列 3 全自動掃描電鏡

全自動掃描電鏡以掃描電鏡和能譜儀為基礎，結合自動控制系統以及強大的數據庫系統，可以全自動對雜質顆粒進行快速識別、分析和分類統計，為客戶的研發以及生產提供快速、準確和可靠的定量數據支持。

特點

·  顆粒粒度分布

·  顆粒形貌分析

·  雜質成分檢測

·  高分辨率成像

系列 4 自動化專用掃描電鏡

槍擊殘留物（GSR）的分析發揮著重要的作用。GSR 分析技術首先基于掃描電子顯微鏡（SEM）的背散射成像，用來掃描樣品和發現 “可疑" 的 GSR 顆粒。一旦發現可疑的顆粒，使用能譜（EDS）識別該顆粒的元素。最常見的搜索元素為 Pb，Sb 和 Ba。無鉛底火的檢測，例如 Ti 和 Zn 也可作為搜索條件進行搜索。

DiatomAI™ 利用人工智能的技術，賦能法醫硅藻檢驗系統，配合 DiatomScope™ ，實現了掃描和檢測的全自動化。它是目前市面上可靠、高效、自動化程度高的硅藻檢測解決方案，幫助法醫在檢測過程中實現硅藻的全自動檢測，識別過程全程無需人工參與。大大縮短了檢測時間，提升工作效率。

掃描電鏡樣品制備

1.制樣簡單  無需噴金即可觀察不導電樣品

2.掃描電鏡制樣設備

SEMPrep2 作為新一代的高精密氬離子研磨系統，可以滿足研究人員苛刻的研磨需求。集成式多功能截面拋削以及無損平面拋光系統，為 SEM 以及 EBSD 用戶提供制樣助力。