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臺式掃描電子顯微鏡的性能特點有哪些?

 更新時間:2025-04-02 點擊量:60
  臺式掃描電子顯微鏡利用高能電子束與樣品表面相互作用,從而獲得樣品表面形貌、成分和結構信息。由電子槍發射的電子束經過柵極靜電聚焦后成為點光源,然后在加速電壓作用下,經兩三個透鏡組成的電子光學系統,電子束被會聚成幾十埃大小并聚焦到樣品表面。該入射電子束在物鏡上方掃描線圈的驅動下,在試樣表面的微小區域進行有序的光柵掃描。高能電子束射入試樣后,在其表面激發出二次電子、背散射電子、X射線和俄歇電子等多種信息,這些信息被相應的探測器收集并轉換為電信號,經過放大處理后在顯示器上顯示出樣品表面的圖像。
臺式掃描電子顯微鏡
 
  臺式掃描電子顯微鏡的性能特點:
 
  -小巧便攜:相比傳統的落地式掃描電子顯微鏡,體積小巧,可安放在實驗臺面上操作,便于在不同實驗室或現場使用。
 
  -分辨率高:具有較高的分辨率,能夠清晰地觀察到樣品表面的微觀結構和細節。
 
  -操作簡單:通常配備有人性化的操作界面和自動化功能,使得操作更加簡單方便,即使是非專業人員也能快速上手。
 
  臺式掃描電子顯微鏡的使用注意事項:
 
  1.真空包裝:在給試品檢驗前,一定要進行真空包裝妥善處理。臺式掃描電鏡是靠離子束掃描儀物品表面來顯像的,氣體的出現會使離子束變形,影響掃描儀實際效果。
 
  2.樣品處理:確保樣品表面清潔、干燥且無油污,以免影響觀察效果。對于非導電樣品,需要進行噴金或噴碳處理以增加其導電性。
 
  3.參數設置:根據樣品的性質和觀察需求,合理設置加速電壓、工作距離等參數。過高的加速電壓可能會損傷樣品,而過低的電壓則可能導致圖像質量不佳。
 
  4.避免碰撞:在調整樣品位置或更換樣品時,要小心操作,避免碰撞鏡頭和樣品座。
 
  5.定期維護:定期對電鏡進行清潔和維護,包括清理灰塵、檢查零部件磨損情況等,以確保其長期穩定運行。
 
  6.安全操作:在使用電鏡時,要遵守相關的安全規定,如佩戴防護眼鏡、避免觸摸高壓部件等。

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